Следующая книга
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
| Автор: | В. Киреев, А. Столяров |
| Издатель: | Техносфера |
| Год: | 2006 |
| ISBN: | 5-94836-039-3 |
| Формат: | 60x90/16 |
| Количество страниц: | 192 |
| Цена: | 211 руб. |
| Описание: | Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведён анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых плёнок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение плёнок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов. |
| Заказать, либо купить книгу |
Книги, литература
Фотоэлектрические МДП-приборы
Рассматриваются основные закономерности фотоэлектрических явлений в МДП-структурах. Отмечается ...
Зарубежные интегральные микросхемы и их отечественные аналоги. Справочник
В справочнике в удобном для читателя алфавитном порядке представлены более двух тысяч интегральных ...
Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
Первая в России книга по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, ...